洁净型直交机器人 XY-XC(2～4轴)
洁净型直交机器人XY-XC是直交机器人中可以在无尘室使用的机型。
采用耐久性卓越的不锈钢板，使开口部的设计达到最小，以少量的吸气即可实现极高的洁净度。

洁净度 ：相当于等级10(ISO25644-1)
※每1cf为0.1μm，使用抽风机时。

洁净度：CLASS10
抽吸量：60～90Nℓ/min
最大搬运重量：20kg
最高速度：1000mm/sec
※ 用户配线: D-Sub 25PIN 连接器(1-24号已接线、25号为机架地线)
※ 用户配管: 3根6空气软管