洁净型水平多关节机器人 YK-XC
(臂长：250mm〜1000mm)
机械手臂长：180mm～1000mm
抽吸量：30～60Nℓ/min
洁净度
YK-XC：CLASS 10
YK-XGC/YK-XGLC：ISO CLASS 3(ISO14644-1)※
※CLASS 10 (0.1μm) FED-STD-209D同等
最大搬运重量：20kg